芯微电子装备专利侵权案解析 来源：微电子学 【在线投稿】 栏目：期刊导读 时间：2021-08-04 2021年3月24日,曾被称为"首家国产光刻机企业"的合肥芯碁微电子装备有限公司(以下简称芯碁公司)在科创板成功上市。虽经业内介绍芯碁公司生产的"ACURA280激光直接成像设备"属于"泛"半导体直写光刻设备,与ASML的光刻机不是同一种光刻机,但仍吸引了资本市场的眼光。
2021年3月24日,曾被称为"首家国产光刻机企业"的合肥芯碁微电子装备有限公司(以下简称芯碁公司)在科创板成功上市。虽经业内介绍芯碁公司生产的"ACURA280激光直接成像设备"属于"泛"半导体直写光刻设备,与ASML的光刻机不是同一种光刻机,但仍吸引了资本市场的眼光。
